ជួរធ្វើដំណើរ
20 ម។
ដំណោះស្រាយ
0.125 μm
ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត
<1 μm
ភាពត្រង់
<2 μm
ភាពស្របគ្នា។
<5 μm
ការបោះដុំ
10″(50 μrad)
យ៉ាវង
ល្បឿនអតិបរមា
5 ម។/ វិ
ផ្ទុកសមត្ថភាព
10 គីឡូក្រាម
ទម្ងន់
1.5 គីឡូក្រាម