● ការរចនាទ្រនាប់រំកិលឆ្លងកាត់សម្រាប់ចលនាច្បាស់លាស់ និងសមត្ថភាពផ្ទុកធំជាង
● ម៉ូដែលទាំងអស់អាចចាក់សោបាន។
● ការធ្វើតេស្តគុណភាព interferometric យ៉ាងទូលំទូលាយ
● អាចបញ្ច្រាសបានសម្រាប់កម្មវិធីខាងឆ្វេង ឬស្តាំ
● ឆបគ្នាជាមួយ Newport Manual និង Actuators ម៉ូទ័រ
● អាចជង់បានសម្រាប់ទីតាំងពហុអ័ក្សទម្រង់ទាប
គំរូ | WN113TM25ម | WN115TM50 ម | WN116TM50 ម | |
ទំហំតារាង | ៥៣ × ៥៣ ម។ | 100 × 100 ម។ | 110 × 100 ម។ | |
ប្រភេទឧបករណ៍បំប្លែង | ប្រភេទក្បាលមីក្រូម៉ែត្រ | ប្រភេទក្បាលមីក្រូម៉ែត្រ | ប្រភេទក្បាលមីក្រូម៉ែត្រ | |
ទីតាំងក្បាលមីក្រូម៉ែត្រ | មជ្ឈមណ្ឌល | មជ្ឈមណ្ឌល | ចំហៀង | |
ចម្ងាយធ្វើដំណើរ | ±12.5 ម។ | 50 ម។ | 50 ម។ | |
ការអានអប្បបរមា (ដំណោះស្រាយ) | 10μm | 10μm | 10μm | |
លៃតម្រូវចម្ងាយអប្បបរមា | 2 μm | 2 μm | 2 μm | |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង | 3μm | 3μm | 3μm | |
មគ្គុទ្ទេសក៍ទេសចរណ៍ | ភាពជាក់លាក់ V-groove & Crossed Roller | ភាពជាក់លាក់ V-groove & Crossed Roller | ផ្លូវដែកលីនេអ៊ែរភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ | |
សមត្ថភាពផ្ទុក (ផ្ដេក) | 15 គីឡូក្រាម | 40 គីឡូក្រាម | 40 គីឡូក្រាម | |
ភាពត្រង់ | 3μm | 5 μm | 5 μm | |
ការបោះដុំ | 25″ | 25″ | 25″ | |
យ៉ាវង | 20″ | 15″ | 15″ | |
ភាពស្របគ្នា។ | 25μm | 10μm | 10μm | |
ការបើកបរស្របគ្នា។ | 10μm | 15 μm | 15 μm | |
ការផ្ទុកពេលដែលអាចអនុញ្ញាតបាន (Nm) | ការបោះដុំ | 2.7 Nm | 2.7 Nm | 2.7 Nm |
យ៉ាវង | 2.2 Nm | 2.2 Nm | 2.2 Nm | |
រមៀល | 2.0 Nm | 2.0 Nm | 2.0 Nm | |
ភាពរឹងម៉ាំ | ការបោះដុំ | 0.38"/N·cm | 0.38"/N·cm | 0.38"/N·cm |
យ៉ាវង | 0.42″/N·cm | 0.42″/N·cm | 0.42″/N·cm | |
រមៀល | 0.28″/N·cm | 0.28″/N·cm | 0.28″/N·cm | |
ទម្ងន់ | 0.47 គ | 1.1 គីឡូក្រាម | 1.1 គីឡូក្រាម | |
សម្ភារៈ | អាលុយមីញ៉ូម Alloy | អាលុយមីញ៉ូម Alloy | អាលុយមីញ៉ូម Alloy | |
បញ្ចប់ (ការព្យាបាលលើផ្ទៃ) | ខ្មៅ-អាណូឌីស | ខ្មៅ-អាណូឌីស | ខ្មៅ-អាណូឌីស | |
● ការប្រើប្រាស់មគ្គុទ្ទេសក៍រំកិលឆ្លងកាត់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ សមត្ថភាពផ្ទុកបន្ទុកធំ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ ● មូលដ្ឋាន និងតារាងដែលបំពាក់ដោយម៉ាស៊ីនច្បាស់លាស់ ធ្វើឱ្យការរត់ត្រង់ យ៉ាវ កម្រិត និងចលនាស្របគ្នានៃដំណាក់កាលបកប្រែក្នុងជួរភាពត្រឹមត្រូវជាក់លាក់មួយ។ ● ការលៃតម្រូវការផ្លាស់ទីលំនៅទទួលយកក្បាលមីក្រូម៉ែត្រឬក្បាលមីក្រូម៉ែត្រឌីផេរ៉ង់ស្យែល ● គុណភាពបង្ហាញតូចធានាបាននូវមីក្រូហ្វូននៅលើតុ ● ក្បាលមីក្រូម៉ែត្រត្រូវបានដាក់នៅចំកណ្តាលនៃដំណាក់កាលបកប្រែ ដែលធ្វើឱ្យវាងាយស្រួលក្នុងការដំណើរការ។ ● ការត្រឡប់និទាឃរដូវត្រូវបានប្រើដើម្បីលុបបំបាត់ការបោសសំអាតអ័ក្ស ● តុ និងមូលដ្ឋានត្រូវបានបំពាក់ដោយរន្ធម៉ោនគម្លាតស្តង់ដារសម្រាប់ការដំឡើង និងការផ្គុំគ្នាយ៉ាងងាយស្រួល។ ● អាចត្រូវបានផ្សំជាមួយដំណាក់កាលផ្លាស់ទីលំនៅស៊េរីផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតជាស៊ុមលៃតម្រូវពហុវិមាត្រ |